無塵室工程(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。沒有無塵室，污染敏感零件不可能批量生產。在 FED-STD-2里面，無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間
無塵室的構成是由下列各項系統(tǒng)所組成（在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的），否則將無法構成一完整且品質良好的無塵室：?、盘旎ò逑到y(tǒng) 包括吊桿（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或Ceilingframe）。?、瓶照{系統(tǒng) 包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風車等?！、歉魤Π澹≒artitional wall) 包括窗戶、門?！、鹊匕濉“ǜ呒艿匕寤蚍漓o電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。?、烧彰髌骶摺“ㄈ展鉄?、黃色燈管等。?、薀o塵室之建筑主體構造 一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件： A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕； B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子； C.吸濕性?。弧.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高；
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